Straturi subțiri de TaNxOy - sinteză, caracterizare, recomandări de utilizare
Autor/autori: Daniel CRISTEA, Cunha LUIS, Aurel CRIȘAN
Rezumat: Lucrarea prezintă rezultatele unor cercetări ample realizate în colaborare între două instituții din România și Portugalia având drept obiectiv sinteza, caracterizarea și stabilirea unor domenii de utilizare pentru straturi subțiri de tipul TaNxOy. Produse prin pulverizare în regim magnetron în mediu reactiv, în condiții de variație a debitului mediului reactiv gazos (implicit a presiunii din incinta de depunere), pe substraturi diferite (sticlă, siliciu, oțel inoxidabil, oțel rapid) cu și fără aplicarea unui potențial electric la substrat, straturile obținute au fost supuse unor studii de caracterizare a structurii, respectiv a proprietăților mecanice, optice și electrice. Pe baza rezultatelor obținute s-au putut face o serie de recomandări privind domeniile posibile de utilizare a acestor straturi. Cercetările efectuate completează în bună măsură informațiile destul de restrânse existente la ora actuală despre aceste straturi
Cuvinte cheie: straturi subțiri, oxinitruri de tantal, structură, proprietăți
Abstract: This paper is presenting the results of an extended program of research developed between two research institutions from Romania and Portugal, concerning the synthesis, the characterization and the assignation of certain applications for TaOxNy thin solid films. The films were obtained by reactive magnetron sputtering, while varying the reactive gas mixture flow (and thus implicitly varying the overall pressure inside the deposition chamber), using different materials as substrates (glass, silicon, stainless steel, high speed steel), and connecting or not the substrate holder to a negative voltage. The obtained thin films were subjected to a rigorous analysis concerning the structural development and the mechanical, optical and electrical properties. The results of the analysis were the basis of certain application recommendations of this type of films. Our research adds a great deal of information to the somewhat limited area of knowledge concerning these types of thin solid film
Keywords: thin films, tantalum oxynitrides, structure, properties